SECS/GEM通信协议学习笔记

了解下半导体设备现场的通讯协议，对于GEM的开发是半导体设备管理/生产/维护软件的一部分。

https://www.pianshen.com/article/8077855324/

http://blog.sina.com.cn/s/blog_5084db5801014mx3.html

基于GEM 的半导体配方管理系统设计

http://www.doc88.com/p-8651730423777.html

Introduction of GEM

https://wenku.baidu.com/view/26fca446ba68a98271fe910ef12d2af90242a81c.html

半导体设备发展

https://wenku.baidu.com/view/15e6a696f61fb7360b4c6580.html