陆芯精密晶圆切割机优势
1.设备精准度高(0.0001mm)
2.切割精度1.5um
3.效率高
4.加工品种多样化(晶圆、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等)
5.成本低(设备、加工耗材、设备保养维护)
6.环境要求低(普通千级无尘车间)
7.操作简单易懂易上手(对标DISCO)
8.售后服务好
9.机器交付周期短
常见切割品种及简单工艺介绍
一、BGA/WAFER类晶圆
二、二极管、三极管、MOS管类硅片
切割刀片 |
ZH05-SD4000-N1-70BA |
膜型号 |
SPV224 |
主轴转速 |
38000-50000rpm |
切割水流量 |
Blade 1.2-1.5L/min |
Shower 1.0-1.2L/min |
|
校准方式 |
手动校准、自动校准 |
切割效率 |
4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片 |
三、氧化铝、碳化硅类陶瓷
切割刀片 |
SDC500-R75TNF 56D×0.15T×40H |
膜型号 |
LINTEC |
主轴转速 |
25000-35000rpm |
切割水流量 |
Blade 1.2-1.5L/min |
Shower 1.0-1.2L/min |
|
校准方式 |
手动校准、自动校准 |
切割效率 |
平均30min/片 |
四、光学玻璃、浮法玻璃类
切割刀片 |
SD1000N25MR0207 56D*0.1T*40H |
膜型号 |
LINTEC |
主轴转速 |
28000-35000rpm |
切割水流量 |
Blade 0.8-1.0L/min |
Shower 1.0-1.2L/min |
|
校准方式 |
手动校准、自动校准 |
切割效率 |
平均20min/片 |
五、QFN/DFN类
切割刀片 |
SDC320R01Q 58D-0.3T-40H |
膜型号 |
6360-15 |
主轴转速 |
21000rpm |
切割水流量 |
Blade 1.2-1.5L/min |
Shower 1.2-1.5L/min |
|
校准方式 |
自动校准 |
切割效率 |
5-8min/条 |
六、PCB/MEMS基板类
切割刀片 |
D8/20-MDS 56D-0.1T-40H2d/1W/16N |
膜型号 |
6360-15 |
主轴转速 |
25000rpm |
切割水流量 |
Blade 1.2-1.5L/min |
Shower 1.2-1.5L/min |
|
校准方式 |
自动校准 |
切割效率 |
5min/条 |
七、碳纤维板、玻璃纤维板类
切割刀片 |
D8/20-MDS 56D-0.1T-40H2d/1W/16N |
膜型号 |
6360-15 |
主轴转速 |
35000rpm |
切割水流量 |
Blade 1.2-1.5L/min |
Shower 1.2-1.5L/min |
|
校准方式 |
手动校准、自动校准 |
切割效率 |
20min/片 |