“新凯来”是一家专注于半导体装备研发与制造的国家级高新技术企业,隶属于深圳市国资委旗下的深圳市重大产业投资集团。公司成立于2021年,总部位于深圳,核心团队拥有20年以上半导体设备研发经验,在2025年3月的SEMICON China展会上首次公开亮相,因其覆盖半导体制造全流程的技术突破和国产化进展引发行业高度关注。
一、核心业务与技术突破
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全流程半导体设备布局
新凯来构建了覆盖半导体前道工艺的六大类设备矩阵:- 工艺装备:包括刻蚀设备(武夷山系列)、薄膜沉积设备(长白山CVD、普陀山PVD、阿里山ALD)、外延生长设备(峨眉山EPI)、快速热处理设备(三清山RTP)等,支持从28nm到5nm的先进制程需求。
- 量检测装备:涵盖光学检测(岳麓山BFI明场缺陷检测、丹霞山DFI暗场缺陷检测)、物理量测(沂蒙山AFM原子力显微镜)、X射线量测(赤壁山XPS/XRD/XRF)及功率检测(RATE-CP晶圆电性能检测),填补了国内高端量测设备的空白。
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技术亮点与行业意义
- 刻蚀与薄膜沉积:其刻蚀设备采用自研等离子体控制技术,实现纳米级精度;ALD设备支持原子层沉积,适用于5nm以下先进制程。
- 量检测国产化:光学量测设备采用深紫外宽谱光源和大数值孔径物镜,检测灵敏度达国际领先水平,已进入国内主流晶圆厂量产验证。
- 核心零部件自主化:关键部件如反应腔、射频电源等实现100%国产化,摆脱对进口供应链的依赖。
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产品命名特色
设备以中国名山命名(如武夷山、长白山、阿里山),既体现技术底蕴,也传递国产替代的决心。
二、行业影响与市场地位
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打破国际垄断
在刻蚀、薄膜沉积、量检测等领域,新凯来直接对标国际巨头(如AMAT、ASML、KLA)。例如,其EPI设备挑战AMAT的市场主导地位,ALD设备与ASML的原子层沉积技术竞争,量检测设备则瞄准KLA的高端市场。 -
产业链协同效应
新凯来的崛起带动了国内半导体设备供应链的发展。至纯科技(湿法清洗设备)、新莱应材(真空系统)、奥普光电(光学部件)等上市公司已成为其核心供应商,形成“设备-零部件-材料”的国产化生态链。 -
政策与资本支持
作为深圳国资委控股企业,新凯来获得地方政府在研发补贴、产线建设等方面的支持。2023年,公司通过子公司上海新凯来、北京新凯来分别投资2亿元,加速区域市场布局。
三、最新动态与未来展望
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2025年展会首秀
在SEMICON China 2025上,新凯来展示了30余款设备,包括支持GAAFET工艺的刻蚀机、3D NAND存储用薄膜沉积设备等,吸引台积电、中芯国际等头部企业关注。 -
技术路线图
公司计划在2025-2026年推出电子束检测设备、极紫外(EUV)相关零部件,并与华为海思合作开发自对准多重图形(SAOP)技术,进一步突破先进制程瓶颈。 -
市场预期
行业分析预测,新凯来2025年营收有望突破15亿元,在国内半导体设备市场的份额将从不足1%提升至5%,成为国产替代的核心力量。
四、潜在挑战与风险
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技术迭代压力
国际巨头在EUV、3nm以下制程设备上仍具优势,新凯来需持续投入研发以缩小差距。 -
客户验证周期
半导体设备的认证周期通常长达1-2年,新凯来需加快量产交付以巩固市场地位。 -
供应链稳定性
尽管核心零部件已国产化,但部分高端材料(如高纯度硅片)仍依赖进口,需进一步完善供应链。
总结
新凯来作为半导体设备领域的“国家队”,凭借全流程技术布局、核心零部件自主化和政策支持,正成为国产替代的重要力量。其技术突破不仅提升了国内半导体产业链的自主可控能力,也为全球半导体设备市场注入了新的竞争活力。未来,随着技术成熟和市场拓展,新凯来有望在全球半导体设备格局中占据更重要的地位。