Y6T70 GF 用于单波100G的硅光工艺平台
今年OFC在光模块技术路线里,越来越多的讨论单波100G的技术实现,
昨天写的1.6T的光收发引擎,单波长的速率是100Gbps
GlobalFoundry今年也更新了他们的硅光工艺平台,叫45CLO,基于45nm的射频电路平台,增加硅基光学的设计
和之前的90nm工艺节点的硅光平台来看,有几个不同,我画了圈圈
做个解释,首先他们的射频工艺中,有好多层金属互联,在其中几层做厚铜,高频损耗比较低,适合目前的100Gbps的应用。
另外,硅的厚度做了两个分级,88nm的厚度,更适合做CMOS电路,160nm的厚度用于硅光子平台的波导、调制器和探测器。
这是为了能让光学器件距离电路更近一些。
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比如探测器与TIA,大多数厂家是采用2D,或者2.5D封装,我在直播里做了分析。但毕竟还是两个Die,电路信号上会有寄生参数,降低信号带宽。
GF的电路与光路集成,会使得光与电的距离更短,更适合高频。
比较重要的是这次增加了氮化硅波导的设计,Y6T34,Y6T35都聊过氮化硅为什么损耗比硅波导要低一些,且更适合水平耦合。
GlobalFoundry目前推出的45CLO的平台,看下参数。