亚微米像素技术发展

        如果我们翻看这些年的IISW会议,第一个话题总是pixel scaling,厂商也给出了roadmap,比如三星早在去年就提出了CIS传感器路线图:

        可见像素微缩在CIS的发展中至关重要的地位。甚至在每年ISSCC和IEDM上,都能看见top厂商不断push像素尺寸所发出来的论文。而pixel scaling之所以如此重要,很大程度是因为现在CIS全球70%左右的市场份额都在智能手机端。智能手机对于模组大小的苛刻要求pixel pitch尽可能的缩小:这样同样分辨率下可以实现更小的芯片尺寸,缩小模组大小,降低成本;或是同样的靶面能够容纳更多的像素,实现更高的分辨率。

       以三星为例,三星目前在移动CIS产品的份额仅次于Sony,而且其目前已知的主要技术规划仍然以移动CIS领域为主(其它领域仍在观望与试探的边缘,例如全局快门(Global Shutter)以及车载dToF)。与其它玩家不一样的是,三星的CIS科技树越发明显的朝着小像素的路线前进。从2019年首款0.8um 50MP产品开始到今年的0.56um 200MP的HP3,三星依靠其强大的Foundry制程能力在像素小型化上越走越远。

        可是,与logic电路的微缩不一样,pixe

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