版权声明：本文为博主原创文章，未经博主允许不得转载。 https://blog.csdn.net/woshi_ziyu/article/details/84971397
在本篇文章中，我们将学习MEMS加速度计、陀螺仪和磁力计的工作原理以及如何将它们与Arduino开发部一起使用。通过使用Processing IDE，我们将使用传感器进行一些实际应用。
MEMS概述
MEMS是非常小的系统或器件，由尺寸范围为0.001mm至0.1mm的微小元件组成。这些组件由硅、聚合物、金属和/或陶瓷制成，并且它们通常与CPU（微控制器）组合以完成系统。现在我们将简要解释每个微电子机械系统（MEMS）传感器的工作原理。
MEMS加速度计
它通过测量电容的变化来测量加速度。它的微观结构看起来像下图所示。它具有附着在弹簧上的质量块，弹簧被限制为沿一个方向移动并固定在外板。因此，当施加特定方向上的加速度时，质量块将移动，然后外板和质量块之间的电容将改变。这种电容变化将被测量，处理，并且它将对应于特定的加速度值。
MEMS陀螺仪
陀螺仪使用科里奥利效应Coriolis Effect测量角速率。当质量以特定的速度在特定方向上移动时，并且施加外部角速率时，如绿色箭头所示，将产生力，如蓝色红色箭头所示，这将导致质量的垂直位移。与加速度计类似，这种位移将引起电容的变化，该电容将被测量和处理，这些变化对应于特定的角速率。
更多内容请参考以下链接：https://www.yiboard.com/thread-1009-1-1.html